我们采用的加热方法有两种，一种是束源炉加热，另一种是钨丝加热。

蒸镀的操作比较繁琐，有很多细节需要注意，所以我来亲自指导你。”

“好的，学姐。”许秋道。

…………

两人做好防护，进入实验室。

那么，你这几天下来做的工作就是：

首先，清洗具有ITO图案的玻璃基片，得到Glass/ITO部分；

然后，旋涂PEDOT:PSS溶液和有效层，得到PEDOT:PSS/P3HT:PC[60]BM：PC[70]BM部分；

最后一步，也就是接下来要做的，是采用真空镀膜方法，将钙和铝蒸镀至基片上，得到Ca/Al部分。

真空镀膜法，原理是在真空条件下，加热靶材，使之气化，靶材形成的气态分子会在舱体内运动，最终均匀沉积在样品表面，形成薄膜。

许秋将舱门朝右边推开，推着还蛮沉的。

他好奇道：“学姐，这套设备也不便宜吧。”

“整套设备差不多20万吧，包括蒸镀舱、分子泵、循环水系统、总控制台，是找沈羊一家专门做真空设备的公司订做的。

他们公司离这边比较远，所以弄坏的话

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许秋先将旋涂好的基片，从手套箱中拿出，然后迅速转移至装有蒸镀装置的手套箱中。

这个手套箱外接有三只橡胶手套，同时只能进入一个人。

于是，许秋进入箱内，学姐则在外面。

箱体内主要有两台大型设备，左边的是蒸镀装置。

蒸镀舱的舱体是由厚重的钢板所制，舱门用轨道连接在舱体上。

第二十章 真空镀膜（上） (第1/3页)

旋涂完成后，许秋找到陈婉清，请教接下来的实验操作。

学姐拿出实验记录本，一边写写画画，一边讲解教学：

“我们最终要得到的是多层结构的太阳能电池器件，比如现在做的这个体系，正结构就是Glass/ITO/PEDOT:PSS/P3HT:PC[60]BM：PC[70]BM/Ca/Al。

共有六层结构，层与层之间用“/”分隔，“：”则表示该层是由两种或以上物质共混。

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